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SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)
zonglen公司，針對(duì)目前市場(chǎng)上進(jìn)口冰水機(jī)chiller維修費(fèi)用昂貴，服務(wù)周期長(zhǎng)。國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠家魚龍混雜，設(shè)備質(zhì)量差，服務(wù)不到位等現(xiàn)象，zonglen公司愿做您可靠的后盾，為您排憂解難。
SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)
半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。
SMC chiller溫控器冰水機(jī)HRS090維修服務(wù)
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）， 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
變頻控制，智能PID控制
預(yù)測(cè)控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制
半導(dǎo)體工藝冰水機(jī)Chiller
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機(jī)械拋光)，實(shí)驗(yàn)室精密裝置、高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
溫控精度（空載時(shí)）±0.05℃
觸摸屏操作，人機(jī)交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
溫度波動(dòng)小
占地面積小、保護(hù)裝置
快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營(yíng)成本和保障生產(chǎn)
運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫
