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萊特萊德(北京)純水設(shè)備技術(shù)股份有限公司

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超純水設(shè)備為硅晶圓生產(chǎn)提供高品質(zhì)超純水

2025
03-31

09:54:57

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22
來源:萊特萊德(北京)純水設(shè)備技術(shù)股份有限公司

我國雖然半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)起步較晚,但是發(fā)展比較迅猛。那么熟悉半導(dǎo)體領(lǐng)域的人都知道硅晶圓,硅晶圓是半導(dǎo)體的核心,也是成本占比最高的材料,純度也超高,是一種為了制成半導(dǎo)體基體電路的原材料。

這是半導(dǎo)體電路的重要組成,硅晶圓高質(zhì)量地產(chǎn)出對于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來說至關(guān)重要。因?yàn)槠湟蟾?,其余對生產(chǎn)中的清洗用水要求也較高,需要使用達(dá)到一定標(biāo)準(zhǔn)的超純水,這樣才能不影響硅晶圓產(chǎn)出質(zhì)量,那么什么樣的超純水設(shè)備才能產(chǎn)出高質(zhì)量的超純水?


超純水1-1.jpg

目前常見的超純水設(shè)備核心工藝為“預(yù)處理+反滲透+EDI+拋光混床”的組合形式。這樣的超純水設(shè)備具有高效低能、運(yùn)行成本低,水資源利用率高、體積較小、維修量小,運(yùn)行時間長等優(yōu)點(diǎn)。其中,應(yīng)用的EDI模塊,在運(yùn)行時是不需要添加任何化學(xué)品的,不僅減少了化學(xué)品運(yùn)輸問題,同時降低了系統(tǒng)運(yùn)行費(fèi)用。本模塊不會有酸堿廢液產(chǎn)生,所以不需要酸堿中和池,一般情況下,EDI水處理系統(tǒng)產(chǎn)出的濃水可以回收再利用。

我司的超純水設(shè)備設(shè)置不合格產(chǎn)水自動回流系統(tǒng),EDI系統(tǒng)出水電阻率低于15兆歐時,產(chǎn)水自動回流至EDI進(jìn)水箱,使其再一次被EDI系統(tǒng)處理,保證EDI產(chǎn)水水質(zhì)的穩(wěn)定,同時也保證了后端拋光樹脂的使用壽命。

這類的超純水設(shè)備可以更好的,連續(xù)的,穩(wěn)定的制備高品質(zhì)的超純水,采用的設(shè)計結(jié)構(gòu)相對靠近,所以其占地非常小,可以為企業(yè)節(jié)省很多空間,在符合硅晶圓生產(chǎn)用水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的同時可以使水資源的利用率達(dá)到95%~99%,有效提升了水資源利用率。

隨著我國科技半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展與壯大,未來將帶動產(chǎn)業(yè)上下游共同發(fā)展,并且硅晶圓的產(chǎn)出質(zhì)量也將越來越高。


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