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XUV/VUV光譜儀

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更新時(shí)間：2023-11-03 07:40:29瀏覽次數(shù)：89次

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詳細(xì)介紹

XUV/VUV光譜儀

H+P公司的XUV/VUV光譜儀采用平面掠入射具有像差校正的特點(diǎn)，三塊光柵波長(zhǎng)范圍分別為1-20nm,5-80nm和40-200nm,總波長(zhǎng)覆蓋范圍為1nm-200nm.光譜儀采用無(wú)狹縫入射能夠提高光譜儀靈敏度。模塊化設(shè)計(jì)能夠滿足不同實(shí)驗(yàn)的結(jié)構(gòu)配置需求。它集成了狹縫固定架、濾波插入裝置以及光柵電動(dòng)定位裝置。

參數(shù)規(guī)格：

波長(zhǎng)（nm）	5～20	10～60	25～80
工作模式	狹縫	無(wú)狹縫	無(wú)狹縫
光源距離(m)		0.4～0.6	0.5～1.5
平場(chǎng)尺寸（mm）	25.4	50	50
色散（nm/mm）	0.5～0.7	0.7～1.1	0.9～1.3
分辨率（nm）	≈0.06	≈0.09	0.11